日本SMC真空發(fā)生器使用說(shuō)明書(shū)

[單向閥]
●通過(guò)背壓防止液體回流
●帶O型密封圈、有*可動(dòng)部分的*設(shè)計(jì)
●無(wú)彈簧結(jié)構(gòu)通過(guò)二次側(cè)的振動(dòng)、振盈或壓力波動(dòng)來(lái)抑制發(fā)塵
[真空發(fā)生器]
●真空發(fā)生設(shè)備
●在交換儲(chǔ)氣瓶時(shí)，可釋放在配管中殘留的無(wú)用氣體
[流量開(kāi)關(guān)]
●在給定的流量下，檢測(cè)出配管破裂而導(dǎo)致的過(guò)剩流量

AP70SMV4MV6FV4

字段描述字段取值取值描述
形式70小型·高
材質(zhì)SSUS316L
配管連接進(jìn)口N2通口MV41/4面密封接頭 外螺紋
配管連接排氣側(cè)MV63/8面密封接頭 外螺紋
配管連接真空側(cè)FV41/4面密封接頭 內(nèi)螺紋

注意事項(xiàng)：

確認(rèn)產(chǎn)品的安裝方向？請(qǐng)確認(rèn)產(chǎn)品的安裝方向
帶有IN標(biāo)志的是進(jìn)口側(cè)，帶有OUT標(biāo)志的是排氣側(cè)。僅箭頭所示的產(chǎn)品表示流體從入口側(cè)流向排氣側(cè)的方向。入口側(cè)和排氣側(cè)排成條直線。真空側(cè)是在與入口側(cè)和排氣側(cè)的方向垂直的方向上的端口，取決于產(chǎn)品，存在VAC標(biāo)記。請(qǐng)檢查安裝方向并將其正確放置。
②配管，惰性氣體沖洗，清洗等惰性氣體沖洗，惰性氣體沖洗，惰性氣體沖洗，清洗等。連接產(chǎn)品后請(qǐng)連接產(chǎn)品？
如果管道中留有灰塵或水垢，可能會(huì)導(dǎo)致故障或故障。用惰性氣體以外的氣體沖洗是危險(xiǎn)的，請(qǐng)不要這樣做。

請(qǐng)不要用裸手關(guān)節(jié)部和③系統(tǒng)產(chǎn)品的氣體接觸部分觸及？請(qǐng)不要用裸手使用脂和油觸摸各種部件的接合部和對(duì)照產(chǎn)品的氣體接觸部？此外，油脂和油，以控制產(chǎn)物的各部分請(qǐng)不要使用。請(qǐng)不要。
④密封開(kāi)的包裝開(kāi)密封包裝梱梱請(qǐng)?jiān)谇鍧嵉沫h(huán)境中進(jìn)行，請(qǐng)?jiān)谙”〉沫h(huán)境，干凈的環(huán)境，請(qǐng)進(jìn)行進(jìn)行？
產(chǎn)品緊密封閉，雙重包裝在潔凈室。請(qǐng)?jiān)跐崈羰一蚋蓛舻沫h(huán)境中打開(kāi)內(nèi)包裝。
⑤請(qǐng)確保維護(hù)空間？請(qǐng)確保維護(hù)空間？
請(qǐng)確保維護(hù)檢查所需的空間。
⑥根據(jù)用于管的連接管的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)焊接為焊接管接頭的接頭管接頭（見(jiàn)SEMI標(biāo)準(zhǔn)?F78），請(qǐng)通過(guò)焊接管道。事實(shí)動(dòng)吹掃氣體，在形式態(tài)設(shè)備閥門(mén)有發(fā)展，焊接入口的事實(shí) - 從出口側(cè) - 側(cè)請(qǐng)通過(guò)從入口流動(dòng)的吹掃氣體 - - 設(shè)備的側(cè)，焊接出口的事實(shí)設(shè)備的側(cè)。
⑦用于管連接的接頭請(qǐng)連接伙伴是提供種控制產(chǎn)品配件和面密封接頭（金屬墊片面密封型），用于將面部密封件的配管連接的管接頭的端面密封接頭的大小相同。
將墊圈放在接頭的頂端，擰緊螺母，然后用扳手轉(zhuǎn)動(dòng)陰螺母1/8圈。請(qǐng)使用不銹鋼或鎳作墊片。
⑧將操作液連接到操作口。將操作流體連接到操作口。
對(duì)于具有空氣式閥門(mén)的設(shè)備，將操作液體連接到操作口。請(qǐng)使用氮?dú)饣蚯鍧嵖諝庾鳛椴僮饕骸?br />⑨配管后請(qǐng)進(jìn)行泄漏檢查，進(jìn)行泄漏檢查，進(jìn)行泄漏檢查。
根據(jù)用途，請(qǐng)進(jìn)行氦泄漏測(cè)試，壓降測(cè)試，氣泡泄漏測(cè)試等的泄漏檢查。對(duì)于面密封配件和管道焊接接頭，建議按照標(biāo)準(zhǔn)（見(jiàn)SEMI標(biāo)準(zhǔn)F1）進(jìn)行氦氣泄漏測(cè)試。

AP70SMV4MV6FV4
AR25K-F02BE4-1RZA-B
VX212AZ1J
AWM30-F03C-R
CP96SDB100-6
VNB212AS-F1-5D-B-Q
AWD20-F02G-C
ARM11AA4-533-J
CDM2XL25TF-50Z
LEY32V7A-100L-S5M2
AWD20-F02G-C
ARM11AA4-533-J
CDM2XL25TF-50Z
LEY32V7A-100L-S5M2
CD85N25-430-A-X2018
SS5V1-W16SA2WD-10BS-C6

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